کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7928573 | 1512564 | 2016 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cross-sectional shape evaluation of a particle by scatterometry
ترجمه فارسی عنوان
ارزیابی شکل مقطعی شکل یک ذره توسط پراکندگی سنجی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
تجزیه شکل ذرات، دامنه رزونانس، تجزیه و تحلیل موج دقیق موج، اسپکترومتری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
چکیده انگلیسی
Reconstructing an image from the scattering pattern of particles with several wavelengths is difficult. This is because precise calculation in such cases is difficult, and because there is no proper procedure to evaluate shapes from the scattering pattern. We use rigorous coupled-wave analysis (RCWA), which we previously developed and applied to an isolated scatterer, and rotate the particle to reconstruct the image. We find that it is possible to discriminate between rectangles, triangles, and squares. The precision of length can be less than 0.2 of the wavelength, provided that the refractive index of the scatterer is known.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 359, 15 January 2016, Pages 240-244
Journal: Optics Communications - Volume 359, 15 January 2016, Pages 240-244
نویسندگان
Tetsuya Hoshino, Masahide Itoh,