کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7986424 | 1515132 | 2016 | 18 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Metrology of electromagnetic static actuation of MEMS microbridge using atomic force microscopy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
دانش مواد (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The objective of this paper is to describe application of atomic force microscopy (AFM) for characterization and calibration of static deflection of electromagnetically and/or thermally actuated micro-electromechanical (MEMS) bridge. The investigated MEMS structure is formed by a silicon nitride bridge and a thin film metal path enabling electromagnetic and/or thermal deflection actuation. We present how static microbridge deflection can be measured using contact mode AFM technology with resolution of 0.05Â nm in the range of up to tens of nm. We also analyze, for very small structure deflections and under defined and controlled load force varied in the range up to ca. 32Â nN, properties of thermal and electromagnetical microbridge deflection actuation schemes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 84, May 2016, Pages 1-6
Journal: Micron - Volume 84, May 2016, Pages 1-6
نویسندگان
M. MoczaÅa, W. Majstrzyk, A. Sierakowski, R. Dobrowolski, P. Grabiec, T. Gotszalk,