کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7990666 | 1516130 | 2018 | 17 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanoporous metallic thin films prepared by dry processes
ترجمه فارسی عنوان
فیلم های نازک فلزی نازک تهیه شده توسط فرایندهای خشک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فلزات و آلیاژها
چکیده انگلیسی
Nanoporous Pt and Au thin films were prepared by dry etching methods and compared to those prepared by conventional wet etching (dealloying). While reactive ion etching (RIE) and deep RIE methods did not yield nanoporous structures with high roughness factors (<5), gentle XeF2 dry etching yielded thin metallic nanoporous films (â¼200â¯nm) with high enough roughness factors (â¼40). The nanoporous films were as good as those prepared by wet etching using 3% HF solution in terms of thickness and roughness factors. Sensing performance of nanoporous Pt films prepared by XeF2 dry etching was as good as that of wet-chemically dealloyed nanoporous Pt films for glucose sensing.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Alloys and Compounds - Volume 764, 5 October 2018, Pages 371-378
Journal: Journal of Alloys and Compounds - Volume 764, 5 October 2018, Pages 371-378
نویسندگان
Hieu Trung Tran, Ji Young Byun, Sang Hoon Kim,