کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8024803 | 1517576 | 2016 | 33 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic layer deposition of aluminum oxide on modified steel substrates
ترجمه فارسی عنوان
رسوب لایه اتمی اکسید آلومینیوم بر روی پایه های فولاد اصلاح شده
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
رسوب لایه اتمی، نانو انداختن، فولاد، اکسید آلومینیوم، سختی عایق ها،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Al2O3 thin films were grown by atomic layer deposition to thicknesses ranging from 10 to 90 nm on flexible steel substrates at 300 °C using Al(CH3)3 and H2O as precursors. The films grown to thicknesses 9-90 nm covered the rough steel surfaces uniformly, allowing reliable evaluation of their dielectric permittivity and electrical current densities with appreciable contact yield. Mechanical behavior of the coatings was evaluated by nanoindentation. The maximum hardness values of the Al2O3 films on steel reached 12 GPa and the elastic modulus exceeded 280 GPa.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 304, 25 October 2016, Pages 1-8
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 304, 25 October 2016, Pages 1-8
نویسندگان
Kaupo Kukli, Emma Salmi, Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Mikael Schuisky, Jörgen Westlinder, Kenichiro Mizohata, Mikko Ritala, Markku Leskelä,