کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8026381 | 1517604 | 2015 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Water vapor barrier properties of Si-Zn-O/Al multilayer structures
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
AFMWVTRWater vapor barrierRMSPECVDALD - آدرنولکودیستروفیX-ray diffractometry - اشعه ماوراء بنفشAtomic layer deposition - رسوب لایه اتمیroot-mean-square - ریشه متوسط مربعSZO - شنبهThin films - فیلم های نازکplasma-enhanced chemical vapor deposition - مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسماSEM - مدل معادلات ساختاری / میکروسکوپ الکترونی روبشیScanning electron microscopy - میکروسکوپ الکترونی روبشیatomic force microscopy - میکروسکوپ نیروی اتمیWater vapor transmission rate - نرخ انتقال بخار آبXRD - پراش اشعه ایکسPolyimide - پلی ایمیدMagnetron sputtering - کندوپاش مگنترون
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Single-layer Si-Zn-O (SZO) and multilayer SZO/Al films are deposited as water vapor barriers on polyimide (PI) substrates, using magnetron sputtering with SiO2-ZnO composite and Al targets. The effect of negative substrate bias voltage (Vb) on the microstructure and water vapor barrier properties of the single layer SZO and multilayer SZO/Al films is investigated. The as-deposited SZO film is found by X-ray diffraction analysis to be amorphous. For deposition at Vb = 0 V, the SZO film has a columnar structure and rough surface morphology; the Al film exhibits pinholes on the surface. When moderate bias voltages (Vb = â 50 V for SZO and â 70 V for Al films) are applied during deposition, a dense SZO film with smooth surface morphology and a pinhole-free Al film are obtained. An SZO/Al multilayer film shows better water vapor barrier performance than a single-layer SZO, which could be further enhanced by application of Vb to the substrate during film growth.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 275, 15 August 2015, Pages 219-223
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 275, 15 August 2015, Pages 219-223
نویسندگان
Tae-Yeon Kim, Jae-Hyeok Choi, Sung-Man Lee,