کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8028080 | 1517637 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Numerical optimization of baffles for sputtering optical precision filters
ترجمه فارسی عنوان
بهینه سازی عددی از سوپاپ ها برای فیلتر کردن دقیق نوری
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
مدل سازی فرآیند، پوشش های دقت نوری، شبیه سازی مستقیم مونت کارلو، اسپری مگنترون،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
For that purpose the distribution of the particle flow from the cylindrical magnetron as well as the resulting thickness profile for different shaper designs is simulated using Direct Simulation Monte Carlo (DSMC) transport simulation. For comparison, experimentally obtained film thickness profiles are evaluated by spectrophotometry and ellipsometry. The simulation model is used for optimization of the baffle geometry as well as investigation on the role of long term drifts caused by target erosion and mechanical tolerances.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 241, 25 February 2014, Pages 45-49
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 241, 25 February 2014, Pages 45-49
نویسندگان
Andreas Pflug, Michael Siemers, Thomas Melzig, Daniel Rademacher, Tobias Zickenrott, Michael Vergöhl,