کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8029774 1517648 2013 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Binary and complex oxide thin films for microelectronic applications: An insight into their growth and advanced nanoscopic investigation
ترجمه فارسی عنوان
فیلمهای نازک اکسید دوتایی و پیچیده برای کاربردهای میکرو الکترونیک: نگاهی به رشد و پیشرفت های نانوسکوپی پیشرفته
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
در همه موارد، تاکید ویژه ای بر اهمیت پیش ماده های مناسب، پارامترهای رسوب گذاری و خصوصیات بین فضایی گذاشته شده است. علاوه بر این، خواص دی الکتریک با ویژگی های سازه ای و ترکیبات با میکروسکوپ پروب اسکن با راهنمایی های هدایت شده، که برای نقاشی در داخل دانه ها یا ناهمگونی در مرز دانه استفاده می شود، ارتباط دارد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش مقاله
فیلمهای نازک اکسید دوتایی و پیچیده برای کاربردهای میکرو الکترونیک: نگاهی به رشد و پیشرفت های نانوسکوپی پیشرفته
چکیده انگلیسی
In all cases, special emphasis has been placed upon the importance of suitable precursors, deposition parameters and interfacial characterization. In addition, dielectric properties have been correlated to structural and compositional characteristics by scanning probe microscopy with conductive tips, which has been used to image defects inside the grains or heterogeneities at the grain boundaries.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 230, 15 September 2013, Pages 152-162
نویسندگان
, , , , , ,