کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8037608 1518284 2018 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A position-controllable external stage for critical dimension measurements via low-noise atomic force microscopy
ترجمه فارسی عنوان
یک مرحله خارجی کنترل موقعیت برای اندازه گیری اندازه انتقادی از طریق میکروسکوپ نیروی اتمی کم صدا
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش مقاله
یک مرحله خارجی کنترل موقعیت برای اندازه گیری اندازه انتقادی از طریق میکروسکوپ نیروی اتمی کم صدا
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 194, November 2018, Pages 48-56
نویسندگان
, , , , ,