کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8038039 | 1518320 | 2015 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Atomic force microscope caliper for critical dimension measurements of micro and nanostructures through sidewall scanning
ترجمه فارسی عنوان
کالیپر میکروسکوپ نیروی هسته ای برای اندازه گیری های بحرانی اندازه گیری میکرو و نانوساختارها از طریق اسکن دو طرفه
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
میکروسکوپ نیروی اتمی، پروب دوگانه، کمپرسور بعد انتقادی، پیاده رو میکرو و نانوساختارها،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
A novel atomic force microscope (AFM) dual-probe caliper for critical dimension (CD) metrology has been developed. The caliper is equipped with two facing tilted optical fiber probes (OFPs) wherein each can be used independently to scan either sidewall of micro and nanostructures. The OFP tip with length up to 500μm (aspect ratio 10:1, apex diameter ⩾10nm) has unique features of scanning deep trenches and imaging sidewalls of relatively high steps with exclusive profiling possibilities. The caliper arms-OFPs can be accurately aligned with a well calibrated opening distance. The line width, line edge roughness, line width roughness, groove width and CD angles can be measured through serial scan of adjacent or opposite sidewalls with each probe. Capabilities of the presented AFM caliper have been validated through experimental CD measurement results of comb microstructures and AFM calibration grating TGZ3.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 158, November 2015, Pages 8-16
Journal: Ultramicroscopy - Volume 158, November 2015, Pages 8-16
نویسندگان
Hui Xie, Danish Hussain, Feng Yang, Lining Sun,