کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8038047 1518320 2015 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Theoretical study of precision and accuracy of strain analysis by nano-beam electron diffraction
ترجمه فارسی عنوان
بررسی نظری دقت و صحت تجزیه و تحلیل فشار با استفاده از پراش الکترونی نانو
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
اندازه گیری سوپرایز شبکه برای تعیین نانوساختارهای نیمه هادی مهم است. همان طور که ​​کرنش نفوذ زیادی بر ساختار بانک الکترونیکی دارد، روش های اندازه گیری فشار با دقت بالا، دقت و تفکیک فضایی در یک میدان بزرگ از نظر اجباری است. در این مقاله، یک مطالعه نظری دقیق و دقت اندازه گیری فشار با استفاده از پراش الکترونی نانو پویا همگرا ارائه شده است. مشخص شده است که دقت ارزیابی از هاله در الگوی پراکندگی ناشی از تنوع کششی در ناحیه تحت پوشش پرتو الکترونی متمرکز رنج می برد. این اثر، انتظار می رود که در رابط های تیز بین مواد با فاصله های مختلف هواپیما، قوی باشد، برای الگوی پراش الکترونی همگرا با استفاده از یک پروب معمولی و برای الگوهای ایجاد شده توسط یک پرتو الکترونی پیش پردازش مورد بحث قرار خواهد گرفت. علاوه بر این، ما در مورد روش هایی برای بهینه سازی دقت کشش اندازه گیری شده در رابط ها بحث می کنیم. این مطالعه بر مبنای ارزیابی الگوهای پراش شبیه سازی شده برای ساختارهای واقع گرایانه مختلف است که به صورت تجربی در انتشارات سابق مورد بررسی قرار گرفته است. این شبیه سازی ها برای پراکندگی پراش حرارتی با استفاده از رویکرد یخ زده-شبکه و تابع انتقال مدولاسیون سیستم ضبط تصویر می پردازند. تاثیر نویز پواسون نیز مورد بررسی قرار گرفته است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش مقاله
بررسی نظری دقت و صحت تجزیه و تحلیل فشار با استفاده از پراش الکترونی نانو
چکیده انگلیسی
Measurement of lattice strain is important to characterize semiconductor nanostructures. As strain has large influence on the electronic band structure, methods for the measurement of strain with high precision, accuracy and spatial resolution in a large field of view are mandatory. In this paper we present a theoretical study of precision and accuracy of measurement of strain by convergent nano-beam electron diffraction. It is found that the accuracy of the evaluation suffers from halos in the diffraction pattern caused by a variation of strain within the area covered by the focussed electron beam. This effect, which is expected to be strong at sharp interfaces between materials with different lattice plane distances, will be discussed for convergent-beam electron diffraction patterns using a conventional probe and for patterns formed by a precessing electron beam. Furthermore, we discuss approaches to optimize the accuracy of strain measured at interfaces. The study is based on the evaluation of diffraction patterns simulated for different realistic structures that have been investigated experimentally in former publications. These simulations account for thermal diffuse scattering using the frozen-lattice approach and the modulation-transfer function of the image-recording system. The influence of Poisson noise is also investigated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 158, November 2015, Pages 38-48
نویسندگان
, , , , , , , ,