Theoretical study of precision and accuracy of strain analysis by nano-beam electron diffraction

اندازه گیری سوپرایز شبکه برای تعیین نانوساختارهای نیمه هادی مهم است. همان طور که ​​کرنش نفوذ زیادی بر ساختار بانک الکترونیکی دارد، روش های اندازه گیری فشار با دقت بالا، دقت و تفکیک فضایی در یک میدان بزرگ از نظر اجباری است. در این مقاله، یک مطالعه نظری دقیق و دقت اندازه گیری فشار با استفاده از پراش الکترونی نانو پویا همگرا ارائه شده است. مشخص شده است که دقت ارزیابی از هاله در الگوی پراکندگی ناشی از تنوع کششی در ناحیه تحت پوشش پرتو الکترونی متمرکز رنج می برد. این اثر، انتظار می رود که در رابط های تیز بین مواد با فاصله های مختلف هواپیما، قوی باشد، برای الگوی پراش الکترونی همگرا با استفاده از یک پروب معمولی و برای الگوهای ایجاد شده توسط یک پرتو الکترونی پیش پردازش مورد بحث قرار خواهد گرفت. علاوه بر این، ما در مورد روش هایی برای بهینه سازی دقت کشش اندازه گیری شده در رابط ها بحث می کنیم. این مطالعه بر مبنای ارزیابی الگوهای پراش شبیه سازی شده برای ساختارهای واقع گرایانه مختلف است که به صورت تجربی در انتشارات سابق مورد بررسی قرار گرفته است. این شبیه سازی ها برای پراکندگی پراش حرارتی با استفاده از رویکرد یخ زده-شبکه و تابع انتقال مدولاسیون سیستم ضبط تصویر می پردازند. تاثیر نویز پواسون نیز مورد بررسی قرار گرفته است.