کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8045496 | 1518982 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films
ترجمه فارسی عنوان
اثرات دمای سوبسترا بر ساختار و خواص مکانیکی فیلمهای نازک فلوئورو کربن سپرده شده
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
⺠Fluorocarbon films were formed by sputtering at temperatures from â5 to 200 °C. The amount of cross-linking increased with increasing substrate temperature. ⺠Correspondingly, the adhesion strength of the films to the Si substrate improved.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 218-221
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 218-221
نویسندگان
Yuta Suzuki, Haojie Fu, Yoshio Abe, Midori Kawamura,