کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8148639 | 1524340 | 2018 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Numerical Simulations of a 96-rod Polysilicon CVD Reactor
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
With the rapid development of the photovoltaic industry, pressurized Siemens belljar-type polysilicon CVD reactors have been enlarged from 24 rods to 96 rods in less than 10 years aimed at much greater single-reactor productivity. A CFD model of an industry-scale 96-rod CVD reactor was established to study the internal temperature distribution and the flow field of the reactor. Numerical simulations were carried out and compared with actual growth results from a real CVD reactor. Factors affecting polysilicon depositions such as inlet gas injections, flow field, and temperature distribution in the CVD reactor are studied.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 489, 1 May 2018, Pages 68-71
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 489, 1 May 2018, Pages 68-71
نویسندگان
Tang Guoqiang, Chen Cong, Cai Yifang, Zong Bing, Cai Yanguo, Wang Tihu,