کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8150073 1524409 2015 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Minority lifetime degradation of silicon wafers after electric zone melting
ترجمه فارسی عنوان
تضعیف طول عمر مردم اقلیم سیلیسیم پس از ذوب شدن منطقه برق
ترجمه چکیده
تخریب طول عمر اقلیت از ورقه های سیلیکونی منو و چند کریستالی پس از ذوب شدن منطقه برق، یک فرایند ساده و بدون آلودگی. انحطاط ناشی از حرارتی ناشی از تخریب بود؛ با این حال، اندازه دانه نیز نقش مهمی ایفا کرد. اعتقاد بر این بود که مرزهای دانه کمک به آرام کردن تنش حرارتی شد، به طوری که تخریب با کاهش اندازه دانه کاهش یافت. علاوه بر نقشه برداری طول عمر و تراکم بتنی اچ، نقشه برداری فوتولومینسانس نیز برای بررسی نقص های الکتریکی فعال پس از ذوب شدن منطقه مورد استفاده قرار گرفت.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه فیزیک و نجوم فیزیک ماده چگال
چکیده انگلیسی
The degradation of minority lifetime of mono- and multi-crystalline silicon wafers after electric zone melting, a simple and contamination-free process, was investigated. The thermal-stress induced dislocations were responsible to the degradation; however, the grain size also played a crucial role. It was believed that the grain boundaries helped the relaxation of thermal stress, so that the degradation was reduced as the grain size decreased. In addition to lifetime mapping and etch pit density, photoluminescence mapping was also used to examine the electrically active defects after zone melting.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 420, 15 June 2015, Pages 74-79
نویسندگان
, , ,