کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9699710 | 1461937 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Capacitive pressure sensor in post-processing on LTCC substrates
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A capacitive pressure sensor was realized by means of a post-processing step on a low temperature co-fired ceramics (LTCC) substrate. The new sensor fabrication technology allows for integration of the sensor with interface circuitry and possibly also wireless transmission circuits on LTCC substrates to realize a truly autonomous sensor unit. A special feature of this sensor technology is the flush surface. The article describes the design considerations, and compares experimental data to the theoretical design. Special point of attention is the long-term behaviour of the soldering joint. Various design variants have been evaluated considering reproducibility and creep behaviour.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 234-239
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 234-239
نویسندگان
M.G.H. Meijerink, E. Nieuwkoop, E.P. Veninga, M.H.H. Meuwissen, M.W.W.J. Tijdink,