کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9809473 1517710 2005 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural and optical investigations of SiOxNy thin films deposited by R.F. sputtering
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Structural and optical investigations of SiOxNy thin films deposited by R.F. sputtering
چکیده انگلیسی
Finally, the variation of the film composition induces modifications of its refractive index and optical gap.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 200, Issues 1–4, 1 October 2005, Pages 330-333
نویسندگان
, , , , , ,