کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9809589 | 1517712 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of Pt film thickness on PtSi formation and film surface morphology
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Effect of Pt film thickness on PtSi formation and film surface morphology Effect of Pt film thickness on PtSi formation and film surface morphology](/preview/png/9809589.png)
چکیده انگلیسی
The effect of Pt film thickness on the formation of platinum silicide (PtSi) phase, distribution of silicides, and surface morphology of PtSi/Si films was investigated with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM). It was shown that when the film structure was changed from PtSi/Si to Pt/Pt2Si+PtSi/PtSi/Si, the film morphology changed from a smooth surface to a coarse columnar structure with the increase of the Pt film thickness.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 198, Issues 1â3, 1 August 2005, Pages 329-334
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 198, Issues 1â3, 1 August 2005, Pages 329-334
نویسندگان
Jinghua Yin, Wei Cai, Yufeng Zheng, Liancheng Zhao,