کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9817744 1518771 2005 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New developments in the applications of proton beam writing
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
New developments in the applications of proton beam writing
چکیده انگلیسی
Advances in this field over the past few years and its relevance to future technology mean that it is now a powerful contender for direct write technology for future nodes 45 nm and below.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 237, Issues 1–2, August 2005, Pages 188-192
نویسندگان
, , , , , , , , , , , , ,