کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9817744 | 1518771 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
New developments in the applications of proton beam writing
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Advances in this field over the past few years and its relevance to future technology mean that it is now a powerful contender for direct write technology for future nodes 45Â nm and below.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 237, Issues 1â2, August 2005, Pages 188-192
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 237, Issues 1â2, August 2005, Pages 188-192
نویسندگان
P. Mistry, I. Gomez-Morilla, G.W. Grime, R.P. Webb, R. Gwilliam, A. Cansell, M. Merchant, K.J. Kirkby, E.J. Teo, M.B.H. Breese, A.A. Bettiol, D.J. Blackwood, F. Watt,