آشنایی با موضوع

باریکه یونی متمرکز (به انگلیسی: Focused ion beam) روشی برای نمونه‌سنجی است که در آن از باریکه متمرکز یون‌ها برای تصویرسازی یا لایه‌برداری از نمونه استفاده می‌شود. این تکنیک در فناوری نیمه‌رسانا، مهندسی و علم مواد و ماشین‌کاری کاربرد دارد. از دیگر زمینه‌های کاربرد این فناوری زیست‌شناسی است که برای تجزیه و تحلیل، رسوب‌دهی و فرسودن بکار می‌رود. اولین سیستم‌های باریکه یونی متمرکز بر پایه تکنولوژی میدان نشر و با استفاده از منابع یونیزاسیون میدان گاز (با نماد اختصاری GFIS) در سال 1975 توسط لوی-ستی و سوانسون گورلوف توسعه یافتند. ساخت اولین دستگاه باریکه یونی متمرکز بر پایه منابع یونیزاسیون میدان گاز در سال 1978 توسط سلیگرانجام شد سیستم‌های باریکه یونی متمرکز به صورت تجاری در حدود ۱۰ سال است که تولید می‌شوند. در ابتدا کاربرد آنها فقط در صنعت نیمه‌هادی بوده است. این دستگاه‌ بیشتر شبیه دستگاه میکروسکوپی الکترونی روبشی عمل می‌کند با این تفاوت که در دستگاه‌های FIB به جای اشعه الکترونی از اشعه یون‌های گالیم استفاده می‌شود. دستگاه FIB در جریانهای پایین اشعه یون‌های گالیم برای تصویربرداری و در جریان‌های بالای یون‌های گالیم برای اهداف بخصوصی مانند ماشین‌کاری و یا پاشش اتمی استفاده می‌شود. قابل ذکر است که در دستگاه های SEM پوشش‌دهی نمونه‌های نارسانا برای تصویربرداری مورد نیاز می‌باشد. علاوه بر اشعه یونی اولیه، می‌توان ازاشعه یون‌های دیگر نیز بر روی نمونه استفاده کرد. این گازها می‌توانند با اشعه گالیم اولیه واکنش داده و به عنوان اچ کننده انتخابی سطح به کار روند و یا برای رسوب‌دهی مواد رسانا و یا نارسانا توسط اشعه یون‌های اولیه به کار روند. تا به امروز بیشترین کاربرد دستگاه FIB در صنعت نیمه‌هادی بوده است. برخی از این کاربردها عبارتند از: آنالیز عیوب، بهسازی مدار، تعمیر ماسک‌ها وآماده سازی نمونه‌های TEM. قابلیت‌های دستگاه FIB در نیمه‌هادی‌ها و مهندسی مواد: ۱- اچ کردن به کمک گازهای XeF و XeCl ۲- رسوب‌دهی فلزات ۳- ماشین‌کاری مواد تا قدرت تفکیک چند ده نانومتر ۴- تصویرگیری از سطوح با استفاده از الکترون‌ها و یون‌های ثانویه( این تصاویر می‌توانند با تصاویر SEM رقابت داشته باشند). ۵- تصویرگیری از کنتراست دانه‌ها بدون اچ کردن ماده ۶- بررسی وضعیت شیمیایی سطوح به خصوص در مطالعات خوردگی ۷-مقطع زنی و تصویر برداری از سطوح
در این صفحه تعداد 530 مقاله تخصصی درباره باریکه یونی متمرکز یا بیم که در نشریه های معتبر علمی و پایگاه ساینس دایرکت (Science Direct) منتشر شده، نمایش داده شده است. برخی از این مقالات، پیش تر به زبان فارسی ترجمه شده اند که با مراجعه به هر یک از آنها، می توانید متن کامل مقاله انگلیسی همراه با ترجمه فارسی آن را دریافت فرمایید.
در صورتی که مقاله مورد نظر شما هنوز به فارسی ترجمه نشده باشد، مترجمان با تجربه ما آمادگی دارند آن را در اسرع وقت برای شما ترجمه نمایند.
مقالات ISI باریکه یونی متمرکز یا بیم (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت
Keywords: باریکه یونی متمرکز یا بیم; 02.50.Sk; 42.30.Wb; 61.82.Fk; Focused ion beam; Scanning transmission electron microscopy; Energy-dispersive X-ray spectroscopy; Principle component analysis; Three-dimensional elemental distribution;
دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 13 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه