Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Dielectric relaxation scheme; Fluid simulation; High density plasma
مقالات ISI پلاسما با تراکم بالا (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Dry etching of palladium thin films in high density plasmas of CH3OH/Ar, C2H5OH/Ar, CH4/Ar, and CH4/O2/Ar gas mixtures
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Palladium; Dry etching; Methanol; Ethanol; Methane/oxygen; High density plasma; Anisotropy; Etch slope;
Radical step coverage improvement in directional beam target (DBT) sputter
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Directional beam target (DBT); Sputter; ECR Lisitano antenna; High density plasma; Cu seed layer/barrier; Step coverage
A feed-back control approach for global simulation of high density plasma discharges
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Feed-back control; Global simulation; High density plasma
A cutoff probe for the measurement of high density plasma
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Cutoff probe; High density plasma; Plasma energy flux
Influence of CH4 flow rate on properties of HF-PECVD a-SiC films and solar cell application
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Silicon carbide; High density plasma; Thin film solar cell
Notching characteristics of un-doped amorphous silicon in high density plasma etching
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Notching; Un-doped amorphous silicon; High density plasma; Gate etching
Inter-metal inorganic spin-on-glass dielectric layer in 100 nm generation technology
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Spin-on-glass; Inter-metal dielectric layer; Via; Resistance; High density plasma
Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO films in HBr/Ar plasma
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Zinc oxide; High density plasma; Dry etching; HBr
The effect of line-broadening on the overall width of transition arrays in dense plasmas
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; High density plasma; X-ray spectroscopy; Stark effect;
Etching characterization of shaped hole high density plasma for using MEMS devices
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; High density plasma; Hole; MEMS device; Silicon dry etching;
Generation of high-density plasma in the polar cap observed by the Akebono satellite
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; Akebono satellite; High density plasma; Polar cap ionosphere;
Packaging barrier films deposited on PET by PECVD using a new high density plasma source
Keywords: پلاسما با تراکم بالا; PECVD; Barrier film; Roll to roll; High density plasma; SiOx coatings;