![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Multimode cavity type MPACVD reactor for large area diamond film deposition
Keywords: رسوبات بزرگ منطقه; MPACVD reactor; Multi-mode cavity; Polycrystalline diamond films; Large area deposition; High uniformity; 2.45â¯GHz frequency;