کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1668148 1008863 2011 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Control of large area VHF plasma produced at high pressure
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Control of large area VHF plasma produced at high pressure
چکیده انگلیسی

The control of very high frequency (VHF) discharge plasma at high pressures was attempted by loading a variable capacitor to the end of the multi rod electrode with which VHF plasma (frequency 60 MHz) was produced. It was found that the discharge region is controlled with the variable capacitor and VHF plasma uniform over 1 m is produced at high pressures.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 20, 1 August 2011, Pages 6931–6934
نویسندگان
, , , , , , , ,