کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1668148 | 1008863 | 2011 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Control of large area VHF plasma produced at high pressure
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Control of large area VHF plasma produced at high pressure Control of large area VHF plasma produced at high pressure](/preview/png/1668148.png)
چکیده انگلیسی
The control of very high frequency (VHF) discharge plasma at high pressures was attempted by loading a variable capacitor to the end of the multi rod electrode with which VHF plasma (frequency 60 MHz) was produced. It was found that the discharge region is controlled with the variable capacitor and VHF plasma uniform over 1 m is produced at high pressures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 20, 1 August 2011, Pages 6931–6934
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 20, 1 August 2011, Pages 6931–6934
نویسندگان
Tatsuyuki Nishimiya, Tsukasa Yamane, Yoshiaki Takeuchi, Yasuhiro Yamauchi, Hiromu Takatsuka, Hiroshi Muta, Kiichiro Uchino, Yoshinobu Kawai,