![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Low-resistivity α-phase tungsten films grown by hot-wire assisted atomic layer deposition in high-aspect-ratio structures
Keywords: کم مقاومت; Hot wire; Tungsten; ALD; Alpha-phase; Low resistivity; High-aspect-ratio substrates;