![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Ti/Al/Ti/TiW Au-free low temperature ohmic contacts for un-doped AlGaN/GaN HEMTs
Keywords: دمای آنالیز پایین; AlGaN/GaNHEMTs; Au-free ohmic contact; Low temperature annealing; Pre-ohmic recess;