![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Nanowall formation by maskless wet-etching on a femtosecond laser irradiated silicon surface
Keywords: الگو برداری غیرمعمول; Maskless patterning; Nanowall; LIPSS; Wet-etching; Microcell;