![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Structure and properties of (AlCrMoNiTi)Nx and (AlCrMoZrTi)Nx films by reactive RF sputtering
Keywords: فیلم نیتروژن; High-entropy alloy; Nitride film; Microstructural characterization; Mechanical property; Tribological property;