![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Investigation of stoichiometry of oxygen precipitates in Czochralski silicon wafers by means of EDX, EELS and FTIR spectroscopy
Keywords: اکسیژن رسوب می کند; Stoichiometry; Oxygen precipitates; Silicon; EDX; EELS; FTIR; Spectroscopy;