![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Influences of target poisoning on the mechanical properties of TiCrBN thin films grown by a superimposed high power impulse and medium-frequency magnetron sputtering
Keywords: نظارت بر انتشار پلاسما; TiCrBN films; High power impulse magnetron sputtering; Medium-frequency magnetron sputtering; Plasma emission monitoring; Target poisoning; Transition region;