![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Silicon-Carbon alloy film formation on Si(100) using SiH4 and CH4 reaction under low-energy ECR Ar plasma irradiation
Keywords: نقشه فضایی متقابل; Plasma chemical vapor deposition; Heteroepitaxial growth; Silicon; Silicon-Carbon alloy; X-ray diffraction; Reciprocal space map;