![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Raman study of light-emitting SiNx films grown on Si by low-pressure chemical vapor deposition
Keywords: نانوکیلرهای سی; Si-rich silicon nitride; Low pressure chemical vapor deposition; Annealing; Raman scattering; Photoluminescence; Si nanoclusters; N-centers; K-centers;