Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Lattice kinetic Monte Carlo modeling; Solid phase epitaxial regrowth; Metal organic chemical vapor deposition; Defect evolution; Silicon; Gallium arsenide;
مقالات ISI فاز جامد فاز اپیتاکسیال (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
An atomistic investigation of the composition dependence in SiGe alloys during Solid Phase Epitaxial Regrowth
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; SiGe; Silicon-germanium; SPER; Solid phase epitaxial regrowth; Alloys; LKMC;
Microstructural changes in silicon induced by patterning with focused ion beams of Ga, Si and Au
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Focused ion beam; Solid phase epitaxial regrowth; Dislocation engineering; In situ electron microscopy
Revisited approach for the characterization of Gate Induced Drain Leakage
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Gate Induced Drain Leakage; Band to Band Tunneling; Band to Trap Tunneling; Fully depleted SOI MOSFET; Rapid Thermal Annealing; Solid Phase Epitaxial Regrowth
Susceptor-assisted microwave annealing for activation of arsenic dopants in silicon
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Solid phase epitaxial regrowth; Dopant activation; Minimum dopant diffusion; Microwave anneal;
Characterization of the low temperature dopant activation behavior at NiSi/silicon interface formed by implant into silicide method
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; 61.72.Tt; 81.20.ân; Nickel silicide; Implant into silicide; Solid phase epitaxial regrowth; Rapid thermal anneal;
Experimental investigations and simulation of the deactivation of arsenic during thermal processes after activation by SPER and spike annealing
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Arsenic activation; Solid phase epitaxial regrowth; Flash annealing; Spike annealing; Process simulation; Silicon
Defect suppression of indium end-of-range during solid phase epitaxy annealing using Si1−yCy in silicon
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Solid phase epitaxial regrowth; Indium; End-of-range
Amorphous layer depth dependence on implant parameters during Si self-implantation
Keywords: فاز جامد فاز اپیتاکسیال; Si self-implantation; Amorphous/crystalline interface; Implant parameters; Dynamic annealing; Solid phase epitaxial regrowth; Residual damage;