دانلود مقالات ISI درباره Ulsi + ترجمه فارسی

Impact of channel thickness and spacer length on logic performance of p-Ge/n-Si hybrid CMOSFETs for ULSI applications

Keywords: High-k spacer; Hybrid CMOS; Logic performance; Propagation delay; TCAD; ULSI;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 22 صفحه سال انتشار : 2017 سفارش ترجمه

Cu filling into trenches with Co (00.2) layer by using high-vacuum magnetron sputtering in N2-addded Ar gas

Keywords: ULSI; Cu interconnect; Cu filling; Magnetron sputtering; Co layer; Nitrogen;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

The evolution and analysis of electrical percolation threshold in nanometer scale thin films deposited by electroless plating

Keywords: Electrical properties; Electrochemical techniques; Thin film; ULSI;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Influence of the methyl group on the dielectric constant of boron carbon nitride films containing it

Keywords: Low-k; Methyl group; ULSI

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Plasma–surface interactions for advanced plasma etching processes in nanoscale ULSI device fabrication: A numerical and experimental study

Keywords: Plasma etching; Cl- and Br-based plasmas; Silicon; High-k dielectrics; Metal electrode materials; Profile simulation; MD simulation; ULSI

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Activation of Ag/Pd triangular nanoshells with different sizes on depositing electrolessly copper

Keywords: Nanoparticle; Shape; Catalyst; Printed circuit board; ULSI

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Electroless preparation of macroporous Cu thin film from large-scale-orderly colloid monolayer

Keywords: Self-assembly monolayer; Thiol; ULSI; Colloidal; Electroless deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Comparative study of novel barrier layers in ULSI copper interconnects

Keywords: ULSI; Ta/TaN barriers; CVD W based barriers

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

New formation process of plating thin films on several substrates by means of self-assembled monolayer (SAM) process

Keywords: Self-assembled monolayer; Electroless deposition; ULSI; Damascene process; Diffusion barrier layer

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

High-performance and damage-free neutral-beam etching processes using negative ions in pulse-time-modulated plasma

Keywords: Neutral beam; ULSI; Plasma etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Curvature enhanced adsorbate coverage mechanism for bottom-up superfilling and bump control in damascene processing

Keywords: ULSI; Damascene and additives; MEMS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Review on copper chemical–mechanical polishing (CMP) and post-CMP cleaning in ultra large system integrated (ULSI)—An electrochemical perspective

Keywords: Copper; ULSI; CMP; Passivity; Post-CMP cleaning

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 14 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Bonding configuration and electrical properties of nitrogen and fluorine incorporated SiOC:H thin film prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

Keywords: Organosilicate glass; N and F doped; Low-k; ULSI

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

All-wet fabrication process for ULSI interconnect technologies

Keywords: ULSI; NiB; SAM; Electroless deposition; Cu;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Characterization of copper metallization for interconnect by 90°-bend electromagnetic filtered vacuum arc

Keywords: 61.50.Ah; 68.35.Ct; 68.55.Jk; 52.50.Dg; 81.15.Aa; 85.40.−e; ULSI; EBSD; Orientation; Adhesion; Magnetic filter;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه