![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Fabrication of optimized 3D microstructures with undercuts in fused silica for replication
Keywords: زیرزمین; 3D microstructures; Undercuts; RIBE; Fused silica; Sidewall passivation; Master fabrication; Nanoimprint replication;