کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10407028 892830 2013 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A comparison of two van-der-Pauw measurement configurations of resistivity
ترجمه فارسی عنوان
مقایسه دو پیکربندی اندازه گیری اندازه گیری مقاومت ون ورد-پاو
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
بر اساس راه حل یک مسئله مرزی ارزش الکترواستاتیک، در این مقاله، دو پیکربندی اندازه گیری ولتاژ نوع وان-پراو از مقاومت، با توجه به حرکت ولتاژ نقطه مانند و تماس های فعلی دور از حاشیه نازک، مقایسه می شود. نمونه مربع جنبش شامل کاهش اندازه آرایه تماس است، بدون تغییر در شکل یا جهت آن، و جابجایی مرکز آن. فرمول های مشتق شده برای هر جابجایی سفت و محکم به گونه ای عمل می شود که تمام مخاطبین در مرز نمونه قرار گیرند اما تنها جابجایی موازی با لبه های نمونه یا در امتداد قطر آن بررسی می شود. هر دو آرایه مربع هستند، با اولین بار اول در هماهنگی با گوشه های نمونه و دوم در ابتدا گوشه های خود را در لبه نمونه محور قرار دارد. راه حل نشان می دهد که انحراف از اندازه گیری مقاومت انعطاف پذیر ون پراوین نسبت به کاهش آرایه تماس با نامحدود زمانی که از پیکربندی اول استفاده می شود کمتر حساس است. با این حال، تحت جابه جایی، وضعیت به وضوح با اثرات مرزی، با نتایج بسته به جهت جابجایی و اندازه آرایه، پیچیده است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
مقایسه دو پیکربندی اندازه گیری اندازه گیری مقاومت ون ورد-پاو
چکیده انگلیسی
Based on the solution of an electrostatics boundary-value problem, this paper compares two van-der-Pauw-type measurement configurations of resistivity, with respect to the movement of the point-like voltage and current contacts away from the periphery of a thin, square sample. The movement involves both a reduction in the size of the contact array, without any change in its shape or orientation, and a displacement of its center. The formulas derived are applicable to any rigid displacement such that all contacts remain within the boundary of the sample, but only displacements parallel to the edges of the sample or along its diagonal are examined. Both arrays are square, with the first initially coinciding with the corners of the sample and the second initially having its corners centered on the edges of the sample. The solution indicates that the deviation from the ideal van der Pauw resistivity measurement is less sensitive to a reduction in the size of the undisplaced contact array when the first configuration is used. However, under displacements, the situation is complicated markedly by boundary effects, with the results depending on the direction of displacement and the size of the array.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 16, Issue 6, December 2013, Pages 1637-1644
نویسندگان
,