کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10668715 1008385 2010 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thermally induced decomposition of B4C barrier layers in Mo/Si multilayer structures
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Thermally induced decomposition of B4C barrier layers in Mo/Si multilayer structures
چکیده انگلیسی
►The thermal stability of Mo/B4C/Si and Mo/Si/ B4C multilayers depends on crystallinity. ►B4C decomposes during annealing in Mo/B4C/Si and Mo/Si/ B4C multilayers. ►MoxBy formation improves thermal stability of Mo/B4C/Si and Mo/Si/ B4C multilayers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Issue 7, 25 December 2010, Pages 2469-2473
نویسندگان
, , , , ,