کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
11005842 1495654 2018 26 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Comparison of techniques for detecting metal contamination in silicon wafers
ترجمه فارسی عنوان
مقایسه روش های تشخیص آلودگی فلزات در وفل های سیلیکونی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy - Volume 149, November 2018, Pages 313-321
نویسندگان
, , , , , ,