کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1606828 1516228 2016 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of substrate bias voltage on mechanical properties and tribological behaviors of RF sputtered multilayer TiN/CrAlN films
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فلزات و آلیاژها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Effects of substrate bias voltage on mechanical properties and tribological behaviors of RF sputtered multilayer TiN/CrAlN films
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Alloys and Compounds - Volume 665, 25 April 2016, Pages 210-217
نویسندگان
, , , , ,