کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1677916 | 1009921 | 2010 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The role of helium ion microscopy in the characterisation of complex three-dimensional nanostructures
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This work addresses two major issues relating to Helium Ion Microscopy (HeIM). First we show that HeIM is capable of solving the interpretation difficulties that arise when complex three-dimensional structures are imaged using traditional high lateral resolution techniques which are transmission based, such as scanning transmission electron microscopy (STEM). Secondly we use a nano-composite coating consisting of amorphous carbon embedded in chromium rich matrix to estimate the mean escape depth for amorphous carbon for secondary electrons generated by helium ion impact as a measure of HeIM depth resolution.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 110, Issue 9, August 2010, Pages 1178–1184
Journal: Ultramicroscopy - Volume 110, Issue 9, August 2010, Pages 1178–1184
نویسندگان
C. Rodenburg, X. Liu, M.A.E. Jepson, Z. Zhou, W.M. Rainforth, J.M. Rodenburg,