کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1795292 | 1524483 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Substrate temperature measurement using a commercial band-edge detection system
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We report on the use of a commercially available band-edge detection system for substrate temperature monitoring of gallium arsenide substrates. The extension of the technique to the cases where strong absorption by either the substrate or substrate holder might normally preclude the use of such systems due to poor signal levels is discussed. For indium-mounted wafers, a background subtraction/removal is applied which allows unambiguous determination of the band edge across the full temperature range. An alternative method of operation of the instrument as a highly configurable pyrometer allows measurements to be made on highly conducting p-type substrates where free carrier absorption swamps the band edge.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volumes 301–302, April 2007, Pages 88–92
Journal: Journal of Crystal Growth - Volumes 301–302, April 2007, Pages 88–92
نویسندگان
I. Farrer, J.J. Harris, R. Thomson, D. Barlett, C.A. Taylor, D.A. Ritchie,