کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
194017 | 459783 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Analysis of tungsten film electrodeposited from a ZnCl2–NaCl–KCl melt
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
مهندسی شیمی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Microparts for micro-electro-mechanical systems (MEMS) are becoming increasingly important, and the Lithographie Galvanoformung Abformung (LIGA) process for producing such parts is attracting attention [1]. However, as this process requires the step of electroplating in aqueous solution, only copper, nickel and their alloys can be used because of the limit of the potential window of water. We have been attempting to apply the electroplating of refractory metals in molten salts to the LIGA process or to the surface coating of conventional LIGA microparts in order to give higher strength and heat resistance for the microparts. Herein we report the characteristics of a tungsten film electrodeposited from a ZnCl2–NaCl–KCl melt at 250 °C.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Electrochimica Acta - Volume 53, Issue 1, 20 November 2007, Pages 20–23
Journal: Electrochimica Acta - Volume 53, Issue 1, 20 November 2007, Pages 20–23
نویسندگان
Koji Nitta, Shinji Inazawa, Kazunori Okada, Hironori Nakajima, Toshiyuki Nohira, Rika Hagiwara,