کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970746 1450299 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Local electric field direct writing - Electron-beam lithography and mechanism
ترجمه فارسی عنوان
نوشتن مستقیم الکتریکی محلی - لیتوگرافی الکترونی پرتو و مکانیزم
کلمات کلیدی
نانو الگوی، مدولاسیون ترکیب، میدان الکتریکی محلی، ساقه،
ترجمه چکیده
لیتوگرافی پرتو الکترونی یک شبکه مصنوعی دوبعدی در یک فیلم نازک سیلیکاتی که توسط میدان های الکتریکی موضعی در میکروسکوپ الکترونی فرستنده اسکن شده است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
نوشتن مستقیم الکتریکی محلی - لیتوگرافی الکترونی پرتو و مکانیزم
چکیده انگلیسی
Electron beam lithography of a 2-D artificial lattice in a silicate thin film, which was produced by localized electric fields in scanning transmission electron microscopy.526
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 182, 5 October 2017, Pages 8-14
نویسندگان
, , ,