کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970764 1450301 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Enhancement of printing overlay accuracy by reducing the effects of mark deformations
ترجمه فارسی عنوان
بهبود دقت پوشش روی چاپ با کاهش اثرات تغییر شکل علامت
کلمات کلیدی
الکترونیک چاپ شده، اندازه گیری، روکش ثبت، تغییر شکل مارک،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
بهبود دقت پوشش روی چاپ با کاهش اثرات تغییر شکل علامت
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 180, 5 August 2017, Pages 8-14
نویسندگان
, , , , , ,