Characterizing the degradation of PDMS stamps in nanoimprint lithography

کد مقاله	کد نشریه	سال انتشار	مقاله انگلیسی	ترجمه فارسی	نسخه تمام متن
4970767	1450301	2017	13 صفحه PDF	سفارش دهید	دانلود رایگان

عنوان انگلیسی مقاله ISI

رایگان برای ایرانیان

با تضمین قیمت و کیفیت

کلمات کلیدی

موضوعات مرتبط

مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری

پیش نمایش صفحه اول مقاله

ناشر

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 180, 5 August 2017, Pages 40-44

نویسندگان

Nico Tucher, Oliver Höhn, Hubert Hauser, Claas Müller, Benedikt Bläsi,

رایگان برای ایرانیان

با تضمین قیمت و کیفیت