کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970767 1450301 2017 13 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterizing the degradation of PDMS stamps in nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Characterizing the degradation of PDMS stamps in nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 180, 5 August 2017, Pages 40-44
نویسندگان
, , , , ,