کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970811 1450303 2017 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optimizing process conditions for improved Hf1 − xZrxO2 ferroelectric capacitor performance
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Optimizing process conditions for improved Hf1 − xZrxO2 ferroelectric capacitor performance
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 178, 25 June 2017, Pages 48-51
نویسندگان
, , , , , ,