کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970887 1450302 2017 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A novel means of fabricating microporous structures for the dielectric layers of capacitive pressure sensor
ترجمه فارسی عنوان
یک روش جدید برای ساخت ساختارهای میکروپور برای لایه های دی الکتریک سنسور فشار خازنی
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
یک روش جدید برای ساخت ساختارهای میکروپور برای لایه های دی الکتریک سنسور فشار خازنی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 179, 5 July 2017, Pages 60-66
نویسندگان
, , ,