کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970959 1450304 2017 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deep plasma etching of Parylene C patterns for biomedical applications
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Deep plasma etching of Parylene C patterns for biomedical applications
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 177, 5 June 2017, Pages 70-73
نویسندگان
, , , , , , ,