کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970985 1450308 2017 28 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fluid flow in UV nanoimprint lithography with patterned templates
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fluid flow in UV nanoimprint lithography with patterned templates
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 173, 5 April 2017, Pages 62-70
نویسندگان
, , , , ,