کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4971026 1450311 2017 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low-cost fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes at a constant pitch
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Low-cost fabrication of nanoimprint templates with tunable feature sizes at a constant pitch
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 170, 25 February 2017, Pages 34-38
نویسندگان
, , ,