دانلود رایگان مقاله ISI : ساخت ساختارهای دوره ای نانومقیاس با استفاده از لایتوگرافی تداخل اشعه ایکس نرم با ساختار نسبتا بالا

Fabrication of high aspect ratio nanoscale periodic structures by the soft X-ray interference lithography

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 170, 25 February 2017, Pages 49-53

Jun Zhao, Yanqing Wu, Chaofan Xue, Shumin Yang, Liansheng Wang, Fangyuan Zhu, Zhichao Zhu, Bo Liu, Yong Wang, Renzhong Tai,