| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 4981633 | 1453838 | 2017 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Adhesion and removal behavior of particulate contaminants from EUV mask materials
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی شیمی
شیمی کلوئیدی و سطحی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects - Volume 535, 20 December 2017, Pages 83-88
Journal: Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects - Volume 535, 20 December 2017, Pages 83-88
نویسندگان
Min-Su Kim, Muthukrishnan Purushothaman, Hyun-Tae Kim, Hee-Jin Song, Jin-Goo Park,