کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4985956 1454794 2017 28 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of chemical tooth mechanism in chemical mechanical planarization of germanium
ترجمه فارسی عنوان
بررسی مکانیسم دندان های شیمیایی در پلاریزاسیون مکانیکی شیمیایی ژرمانیوم
کلمات کلیدی
ژرمانیوم، تیتانیا، روتیل، آناتاز،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی شیمی کلوئیدی و سطحی
پیش نمایش مقاله
بررسی مکانیسم دندان های شیمیایی در پلاریزاسیون مکانیکی شیمیایی ژرمانیوم
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Tribology International - Volume 112, August 2017, Pages 42-46
نویسندگان
, , ,